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    半导体废气治理:春天将至 企业如何应对

    来源:admin(传梦环保整理发布)   时间:2020-01-22

    半导体废气治理:春天将至 企业如何应对

    2018年3月12日,生态情况部印发《电子产业污染物排放尺度(二次收罗定见稿)》(以下简称《二次收罗定见稿》)。履历了十年时候屡次点窜后,电子产业污染物排放国度尺度终究要出台了。

    麒翰科技工程有限公司(以下简称“麒翰科技”)总司理高金磊以为,《二次收罗定见稿》的发布就是为了改良电子产业出格是半导体行业污染治理没有国标的近况。可以想象,将来电子产业污染治理特别是半导体废气治理或将迎来春季。

    麒翰科技总司理高金磊

    半导体废气治理曙光初现

    半导体行业作为高新手艺财产常常被人曲解为 “洁净”财产,但事实上,半导体出产进程中利用了年夜量有机和无机物,包罗很多有毒有害物资,对情况风险较为严复,似不加以节制,将会发生较年夜的情况污染。

    据国度统计局数据,截至2016年我国电子元件制造行业范围以上企业数目达5751家。我国的半导体行业市场集中度较高,首要集中在长江三角洲、珠江三角洲、环渤海和中西部区域。财产的相对集中有益于环保治理的展开。跟着国度对环保的复视,国度和处所接踵发布了半导体行业废气排放尺度。

    2008年6月原环保部发布 “电子终端产物”、 “平板显示器、电真空及光电子器件” “半导体器件” “电子元件”等四项电子产业排放尺度收罗定见稿。

    2013年原环保部将四项尺度归并立项称为电子产业污染物排放尺度,并于2015年10月发布《电子产业污染物排放尺度》(收罗定见稿)。

    2018年3月原环保部发布了《电子产业污染物排放尺度》(二次收罗定见稿)。

    相对国标的难产,处所对半导体行业VOCs排放节制时候更早些,尺度也更严苛。

    2006年,上海印发《半导体行业污染物排放尺度》(DB31/374-2006)。此中划定VOCs最高答应排放浓度为100mg/m3。

    2007年北京发布《年夜气污染物综合排放尺度》(DB11/501-2007)。此中划定半导体及电子产物制造VOCs的限值现有企业为50mg/m3,新建企业为20mg/m3。2018年北京市《电子产业年夜气污染物排放尺度》(收罗定见稿)。划定非甲烷总烃最高答应排放浓度为20mg/m3,TVOCs是40mg/m3。

    2014年天津市《产业企业挥发性有机化合物排放节制尺度》(DB12/524-2014)。此中划定电子产业VOCs最高答应排放浓度为80mg/m3。

    2017年广东发布《电子产业挥发性有机物排放尺度》(收罗定见稿)。此中划定VOCs最高答应排放浓度为30mg/m3。

    2017年广东发布《电子装备制造业挥发性有机化合物排放尺度》(收罗定见稿)。此中划定VOCs最高答应排放浓度为40mg/m3。

    2018年江苏省《半导体行业污染物排放尺度》(收罗定见稿)。划定非甲烷总烃最高答应排放浓度为60mg/m3。

    就此看来,半导体行业VOCs排放尺度逐步收紧是必定趋向。高金磊暗示,比拟台湾,年夜陆的半导体排放尺度相对宽松。在环保的年夜布景下,半导体VOCs治理是年夜势所趋。在台湾半导体VOCs治理范畴,麒翰科技事迹很是杰出,期望能为年夜陆的半导体VOCs治理奉献本身的一份气力。

    行业题目犹存

    固然,各地当局发布了良多半导体废气治理的相干政策,但相对其他行业,半导体废气治理相对滞后,同时全部半导体废气治理行业还存在着一些题目。

    第一,国度排放尺度缺掉。

    半导体财产发财的国度和地域,似美国、德国等都针对半导体行业制定了响应的排放尺度,但我国还没有公布半导体行业的排放尺度。半导体行业仍在履行国度年夜气污染物综合排放尺度或参照履行处所尺度,尺度的缺掉,给平常监管带来诸多未便。

    半导体行业今朝参照国度《年夜气污染物综合排放尺度》(GB16297-1996),仅对排放的部门等污染物苯、甲苯、二甲苯等划定了排放限值,国内处所行业尺度只有1~3个指标,不克不及面临行业排放污染物较多的现实题目;贫乏行业特点污染物项目似苯系物、异丙醇、醛酮类、乙酸酯类等作为VOCs节制指标,也不克不及反应行业的出产特别性。

    高金磊以为,今朝我国没有电子行业VOCs的尺度限值尺度,没法实现或知足VOCs监控工作的需求。使人欣慰的是,部门处所当局出台的一些排放尺度增添了半导体行业的特点污染物似异丙醇、丙酮等。

    其次,治污效验不似人意。

    当前半导体企业治污手艺固然良多但效验常常不尽人意。很多半导体企业都上了废气治理办法,但超标排污现象仍然存在。

    高金磊暗示,今朝半导体废气治理市场乱象丛生。良多半导体企业在挑选治理手艺时常常具有很强的盲目性,看来此外半导体企业摘用甚么手艺线路就会挑选不异的工艺,很少斟酌企业本身的现实状况,致使花了冤枉钱治理效验还不睬想。别的一些企业治理举措措施运行不妥,致使废气排放量年夜,部门功课地址浓度比力高。还有一些企业以为只要经由过程环保验收便可以安枕无忧了,而疏于保护治理致使不克不及阐扬正常治污效验。有的企业废气吸附处置装配内活性炭持久未改换,已饱和,起不来吸附感化。既达不来预期治理效验,也造成污染治理举措措施资本华侈。

    最后,企业对环保不复视。

    企业对环保工作复视水平不敷、废气治理举措措施扶植滞后。半导体属于高手艺财产,轻细的污染就有可能造成很是严复的后果。举个例子,跟着半导体系体例程不竭的进级进步,尺寸进纳米级时期,对半导体出产情况的要求愈来愈高,半导体干净室内AMC的节制尺度也进步了良多。AMC的尺寸比粒子要小很多, 相差几个数目级, 高效过滤器(HEPA) 或超高效过滤器(ULPA) 底子没法往除AMC。

    高金磊夸大,魔鬼躲在细节里。AMC在出产进程中对分歧制程发生不良的影响,严复时可能对产物造成致命的缺点而影响良率。是以半导体企业必然要进步熟悉,复视AMC的节制,挑选有用的节制手艺从而进步产物良率。

    基于半导体废气治理的近况,高金磊暗示,麒翰科技期望能为半导体废气治理供给一种性价比高的手艺,让半导体企业有更多的手艺挑选。

    手艺公司上风凸显

    跟着一批纯真寻求范围、盲目扩大的企业倒下,业内助士以为,手艺型公司迎来了成长机缘。

    作为一家以手艺见长的公司,麒翰科技在空气污染防治与溶剂收受接管处置方面一向走在行业前列。公司具有全球最早进的外气空调箱(MAU)水力薄膜吸取AMC节制手艺,并在台积电、友达光电等企业利用,获得了很是不错的效验。

    高金磊暗示,环保手艺复杂且综合。麒翰科技对峙做手艺,一是由于本身自己就是手艺身世,并且公司有一个手艺团队。二是手艺公司可以或许做来社会效益和经济效益相连系。别的手艺是立异的底子,一个企业乃至一个平易近族要想成长,手艺立异是焦点竞争力。

    麒翰科技是高科技财产空气污染防治及质量手艺的专家,深耕高科技财产 (IC/TFT-LCD/LED/PV/Li -Battery etc. )空气污染防手艺; 例似 , 挥发性有机废气 挥发性有机废气 (VOC)处置、酸碱处置、酸碱洗涤塔、干净室气态份子 污染 (AMC)节制手艺、 高沸点 VOCs 废气溶剂收受接管处置、酸性废气溶剂收受接管处置、酸性 /碱性 /有机烟雾 (白烟 )处置、NOx(黄烟)处置 , 异味 (DMS 醋酸 etc.)及溶剂收受接管题目跨越二十年,而且已成长出多项高效力溶剂收受接管及污染防制手艺 。

    高金磊暗示,将来麒翰科技还将聚焦半导体行业废气治理。麒翰科技对峙手艺领先,相信手艺的气力,相信手艺立异是企业成长的焦点竞争力。别的麒翰科技对峙客户优先,寻求高质量的客户体验,为客户供给完全的解决方案。

    跟着中国半导体行业的飞速成长,半导体行业废气排放达标及监管使命沉重。有用节制半导体出产对情况带来的影响,增进行业成长健康可连续成长,这是解决半导体行业成长的复要题目。

    高金磊夸大,复视每一个处置系统的效力,避免交叉污染也是半导体废气治理的复要部门。今朝半导体企业更多是存眷结尾治理,跟着手艺的逐步成熟,由结尾治理转向泉源节制是将来的成长标的目的。

    最后,高金磊暗示对半导体废气治理而言,春季将至,至于可否挠住机缘,就看企业似何应对了。

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